走査型電子顕微鏡 JSM-6510LA (4c0206)
加速電圧:0.5~30kV 二次電子分解能: 高真空モード:3.0nm(30kV),15nm(1kV) 低真空モード:4.0nm(30kV) 倍率:×5~300,000 日本電子 JEOL
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