全自動ディスペンサー FAD2500 (4c0114) 中古計測器

機材名称	全自動ディスペンサー
型番	FAD2500
メーカー	武蔵エンジニアリング
商品コード	4c0114
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　特長/仕様

動作速度 X/Y/Z：MAX 1.000mm/s
繰返位置決め精度 X/Y/Z：±0.01mm
ヘッド：１ヘッド、1カメラ
メカ式(MPP-FAD-V3-H) or エア式(型番不明、温調器付き)を交換して切替可能
マッチディスペンサ：M32-2178-0203-01
付属ステージ：交換取付可能
・ウエハーステージ φ200mm
・角ステージ W470×D370mm
・角ステージ W350×D350mm
・角ステージ W340×D340mm
・角ステージ W245×D245mm
付属オプション：ワークビュー拡大機能
・塗布位置指定機能
・塗布位置補正機能
外寸：約W900×D1250×H1855mm(突起部含まず)
※シグナルタワー含む高さ約2150mm
重量：約900kg
武蔵エンジニアリング

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全自動ディスペンサー FAD2500 (4c0114)

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