プラズマ洗浄装置 SPC-100B (4c0043) 中古計測器

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電極構造　：　RIE
高周波電源　：　13.56Mhz、Max600W、RFオートマッチング
処理エリア　：　約□300mm
排気系　：　ロータリーポンプ
電源　：　3相200V　50/60Hz
ガス導入　：　O2、Ar
日立 HITACHI

プラズマ洗浄装置 SPC-100B (4c0043)

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