セミオート低圧プラズマ装置 Pico (4c0042) 中古計測器

機材名称	セミオート低圧プラズマ装置
型番	Pico
メーカー	Diener
商品コード	4c0042
販売価格	お問合せください。

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　特長/仕様

電源　：　AC100V　50/60Hz　付属トランスにて230Vに昇圧
接続ガス　：　2ライン
ワークトレイサイズ　：　W130×D290mm
チャンバサイズ　；　W160×D320×H160mm
高周波電源　：　13.56MHz　オートチューニングのプラズマ装置
排気　：　ロータリーポンプ
Diener

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セミオート低圧プラズマ装置 Pico (4c0042)

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