UV照射装置 UH104-12 (3U7211)
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電源:1相100V 50/60Hz 5A オゾンフリーUVランプ (主波長365nm) ウェハーサイズ:~12インチ(300mm)対応 石英ガラス窓 外寸W765D660H340 重量20KgULTRON SYSTEMS
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