ターボ分子ポンプセット TMU071-003P (3U6994) 中古計測器

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機能(カタログより)

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ドライポンプ:ファイファー MVP015-4 ガス分析器:mks マイクロビジョンプラス(401-001) バキュームコントローラ:mks 901
ファイファー PFEIFFER

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