ターボ分子ポンプセット TMP3003LM/EI-3003M (3U6977)
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TMP吸気口:VG300 排気口:NW40 到達圧力:10×-7Pa 回転数:21000rpm 冷却:水冷式 排気速度:3000L/S 取付姿勢:全方位 外寸:W400 D400 H450 重量:69Kg POWER UNIT電源:単相200V 外寸:W210 D540 H200 重量:16Kg 電源/制御用ケーブル:有島津製作所 SHIMAZU SHIMADZU
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