ターボ分子ポンプセット(油潤滑複合) TG550/TC550 (3U6901)
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吸気フランジ:VG150 排気口:NW40 排気速度:550L/S 到達圧力:1×10-7Pa 定格回転数:24000rpm 取付姿勢:垂直(±10°) 質量:41Kg大阪真空
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