ターボ分子ポンプセット TG2810VW/TC3200 (3U6887)
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油潤滑玉軸受タイプ(260mL) 水冷式 吸気フランジ:外径350mmVG250 排気口:NW40 到達圧力:1×10-6Pa 取り付け姿勢:垂直±10° 排気速度:1800L/min 質量:80Kg大阪真空
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