ターボ分子ポンプセット TG1810/TC1810 (3U6880)
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排気速度:1800L/S 到達圧力:1×10-6Pa 重量:80Kg 吸気口:外径350mmVG250 排気口:NW40 使用オイル:NTL-F500 冷却:水冷式大阪真空
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