エッチング装置 TCE-2400 (3U6806) 中古計測器

機材名称	エッチング装置
型番	TCE-2400
メーカー	東京応化工業
商品コード	3u6806
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仕様(カタログより)

搬送：大気搬送アームドライブ方式適応カセット：3/16ピッチ 25枚収納カセット発振方式：水晶発振発振周波数13.56MHz 定格出力：最大出力1000w 真空計：ピラニー真空計石英チャンバー：Φ240×145H(下部)Φ100×389H(上部) 排気ダクト：Φ50(真空ポンプ、オゾン排気)Φ100(本体排気、発振器) 真空ポンプ：エドワーズE2M40 電源：3Φ200V 1Φ100V
東京応化工業

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