ターボ分子ポンプ(単品) STP-H451W (3U6684) 中古計測器

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機能(カタログより)

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吸気フランジサイズ ANSI6”
外径Φ278 PCDΦ243 内径Φ142
排気フランジサイズ
外径Φ54 内径Φ23
ポンピングスピード
N2 450L/sec、H2 300L/sec
48000rpm
15㎏
EDWARDS エドワーズ

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