イオンコーター(イオンスパッタ) SC7620 (3U6146) 中古計測器

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機能(カタログより)

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試料室内径100mm 外径110mm ホウケイ酸ガラス(パイレックス)
ターゲットφ57mm Au/Pdターゲット
試料ステージφ93mm高さ調節可能
100V 50/60Hz
外寸W343 D270 H340
エルミネット

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