両面アライナー RA100 (3U5892) 中古計測器

機材名称	両面アライナー
型番	RA100
メーカー	アドウェルズ
商品コード	3u5892
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　特長/仕様

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仕様(カタログより)

電源:1相100V マスク寸法□4/5インチウエハ寸法:3インチマークレイアウト:マーク間距離40～65mm 昇降ストロークMax5mm CCDカメラ:視野サイズ1.2×0.9mm レンズ倍率×4 露光光源部:有効照射径Φ100 UV強度60 ステージサイズΦ100mmステージ外寸W1300D1000H1750 重量520Kg
アドウェルズ

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両面アライナー RA100 (3U5892)

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