RF電源セット PRF-246C-1 (3U5667)
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入力 電源 3相 200V 30A 50/60Hz 入力容量5kVA 出力 2400W 13.56MHz 発信方式 水晶発振(HC-25/U ソケット式) コネクタ(HN型同軸コネクタ) (マッチングボックス付き) 本体 W480 D680 H300 MB W600 D320 H350 アネルバ ANELVA
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