プラズマCVD装置(DLC薄膜) PD-10M特 (3U5427) 中古計測器

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機能(カタログより)

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反応室:φ394mm SUS304
上部電極:φ240mm シャワー方式のガス吹き出し口一体型
下部電極:qφ200mm フラットヒーター max500℃
高周波電源:13.56MHz max2kW
導入ガス:3種
ロータリーポンプ:E2M18x2台
入力:3φ200V / AC100V
サムコ

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