膜厚計 M6100UV-L6 (3U4474) 中古計測器

機材名称	膜厚計
型番	M6100UV-L6
メーカー	ナノメトリクス
商品コード	3u4474
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　特長/仕様

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仕様(カタログより)

電源:1相100V 50/60Hz 15A 波長領域
可視領域:400～800nm 紫外領域:210～400nm(UV) 4穴自動レボルバ付反射型顕微鏡可視光源用4.10.40倍対物レンズ紫外光源用:15倍対物レンズ光源:可視光用ハロゲンランプ紫外光用:重水素ランプステージ部:3.4.5.6ウエハー対応オートステージ分解能:1μm以下位置精度:±20μm以内移動速度:100mm/sec 外寸W1655D1040H1500 重量:約220Kg
ナノメトリクス

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