ウエハライフタイム測定機 LTA-1800 (3U4394) 中古計測器

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機能(カタログより)

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25mm～200mmΦ　Maxまで
評価領域：低温ポリシリコン　SiC　専用
厚さ：300～1000μ
比抵抗：0.02～10Ω/cm
ウェーハ搬送　手動　対象品3C-Sic
LEOコベルコ科研

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