ダイヤモンポリッシュ機(片面ポリッシュ機) EJW-1200EFN-4AL (3P0154)
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片面、1200EFL用チラー付、1200用フェーシング装置付、安全カバー付、銅定盤付、シリンダー4本付、ウェハー貼付用治具2枚付日本エンギス
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