ヘリウムリークディテクタ HELIOT904D4J1A(3n0102)
ドライポンプ仕様、最小可検リーク量:5×10(-13)Pa・m3/s、リーク量表示範囲(ultra時):0.01×10(-12)~10(-6)Pa・m3/s、メインポンプ:ターボ分子ポンプ31L/s、粗引ポンプ:スクロールドライポンプ500L/minアルバック Ulvac
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