ヘリウムリークディテクタ HELIOT712W2AS72J120(3n0100)
最小可検リーク量:10(-13)Pa・m3/s(真空法)10(-9)Pa・m3/s(スニファ法)、磁場90度偏光型質量分析管、メインポンプ:複合分子ポンプ25L/s、フォアポンプ:ロータリーポンプ135L/minアルバック Ulvac
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