ヘリウムリークディテクタ HELIOT901W21J1A(3n0096) 中古計測器


ヘリウムリークディテクタ HELIOT901W21J1A

機材名称ヘリウムリークディテクタ
型番HELIOT901W21J1A
メーカーアルバック Ulvac
商品コード3n0096
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定価
(参考価格)		￥2,443,000-

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　特長/仕様

最小可検リーク量：5×10(-13)Pa・m3/s、リーク量表示範囲（ultra時）：0.01×10(-12)～10(-6)Pa・m3/s、メインポンプ：ターボ分子ポンプ31L/s、粗引ポンプ：油回転ポンプ30L/min
アルバック Ulvac

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