レーザ干渉変位計:センサ部+レーザユニット部+変位変換部システムセンサ部(レーザベッド部),レーザユニット部(測定器本体部),変位変換部(プラグインユニット部),センサ部:光源(He-Neレーザ:波長632.8nm)射出光出力(1mW以下),測定範囲(反射テープ:LV-0012使用±10mm,コーナーキューブ使用±5m),変位変換部:アナログ変位レンジ デジタル分解能0.155nm(設定レンジ1μm/V~2m/V時),サンプリング周波数(アナログ出力/1MHz固定,デジタル出力/1Hz~1MHz変位解析ソフトLV930にて可変可能)アナログ出力(±10V,50Ω,BNC),デジタル出力(USBVer2.0,ミニB)Op.LV0930変位解析ソフトウェア(500460) 小野測器 ONO SOKKI