ダイアフラム型ドライ真空ポンプ DA-20D (3e2369)
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排気速度:20L/min、到達真空度:5.33×103Pa、吸・排気口:O.D.φ9×I.D.φ5mm (Rc 1/4)、外寸法:W118×D242×H178mm、重量:7.2kgアルバック Ulvac
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