イオンスパッター E-1030＋ロータリーポンプVR16-K＋水冷式試料ステージ冷却ユニット＋ワゴン(3e1694) 中古計測器

機材名称	イオンスパッター
型番	E-1030＋ロータリーポンプVR16-K＋水冷式試料ステージ冷却ユニット＋ワゴン
メーカー	日立 HITACHI
商品コード	3e1694
販売価格	お問合せください。
定価 (参考価格)	￥1,500,000-

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機能(カタログより)

ダイオード放電マグネトロン形
電極：対向平行円板
試料：最大直径55mm
最大高さ20mm
電源：100V
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日立 HITACHI

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