カーボン蒸着装置オートカーボンコーター JEC-530真空ポンプGHD-030付(3e1611) 中古計測器

機材名称	カーボン蒸着装置オートカーボンコーター
型番	JEC-530真空ポンプGHD-030付
メーカー	日本電子 JEOL
商品コード	3e1611
販売価格	お問合せください。
定価 (参考価格)	￥182,520-

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　特長/仕様

機能(カタログより)

非導伝性試料等へのカーボンコーティングを、能率良く短時間で行うために使われます。

仕様(カタログより)

●オートカーボンコーターJEC-530
・蒸着方式：連続加熱・パルス加熱
・操作方法：手動・自動
・仕様圧力：-10^-2 Pa
・カーボンホルダ：1組
・カーボン：φ6mm，φ15mm専用タイプ
・電流電圧：-180A，0.1-6V
・試料台：φ57mm
・試料台位置：可変50mm
・真空チャンパ：120（D）×120（H）mm　ガラス製
・真空モニタ：ピラニ真空計（加熱電流表示と兼用）
・タイマ：デジタル表示（1-30秒）
・過電流保護回路：組み込み
・排気系：金属排気管、直結型ロータリーポンプ36L/min
・使用条件：25℃±5℃
・本体寸法：420（W）×295（L）×285（H）mm
・質量：13kg
●真空ポンプGHD-030
・実効排気速度：36 L/min
・到達圧力：6.7×10-2 （6.7×10-1） Pa （G.V.Closed）
-6.7 Pa （G.V.Open）
※詳しくは、お問合せください。
日本電子 JEOL

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