機能(カタログより)
±200Vの電圧発生機能を装備して、デバイス、マテリアル評価に最適
8252は±200 Vの電圧発生機能を持った、5 1/2桁の高性能なデジタル･エレクトロメータです。 1 fAの電流測定、±210 Vの 範囲において2×1014 Ωの高入力インピーダンス電圧測定、210 GΩの抵抗測定、 1fCの電荷測定などが可能です。さらに各種スイープ機能を持った電圧発生により、各種デバイス、マテリアル評価に最適です。電流測定においては、積分方式（ICV） の採用により、誘導ノイズに強く、かつ高速測定が可能です。また、絶縁抵抗測定においては、VSRM（電圧印加抵抗 測定）機能により、2×1017 Ωの測定が可能です。
仕様(カタログより)
・測定項目
直流電圧:3Vから200V(3レンジ) 最少分解能:10μV
直流電流:30pAから30mA(10レンジ) 最少分解能:1fA
抵抗:3kΩから200GΩ(9レンジ) 最少分解能:10mΩ
電荷:1nCから10μC(5レンジ) 最少分解能:1fC
・直流電圧出力:30Vから200V (2レンジ) 最少分解能:1mV
・VSIM(電圧印加電流測定)
・VSRM(電流印加抵抗測定)
・GP-IB I/F HANDLER I/F
※詳しくは、お問合せください。
ADC エーディーシー (アドバンテスト)
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